影響潔凈室都有哪些因素
2021-02-10 11:03:47
影響潔凈室的氣流因素很多,如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等;以及生產設備上方氣流的分流點。
一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點,應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業人員工作時,氣流可從制程區內部流向作業區,而將微塵帶走;若分流點配置在制程區前方,將成為不當的氣流分流,此時大部份的氣流將流至制程區之后,作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。
潔凈室內的工作桌等障礙物,在相接處均會有渦流現象發生,相對地在其附近之潔凈度將會較差,在工作桌面鉆上回風孔,將使渦流現象減少最低;組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。
潔凈室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的),否則將無法構成一完整且品質良好的潔凈室:天花板系統;空調系統;隔墻板;地板;照明器具。
注:潔凈室之建筑主體構造,一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構造,必須滿足以下條件:不會因溫度變化與振動而發生裂痕;不易產生微塵粒子,且很難附著粒子;吸濕性小;為了維持室內之濕度條件,熱絕緣性要高。